MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUTHW-9-330塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化

VUV清洗效果 清洗效果達到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染，潔凈如新。

三大步驟

除去有機物，增加表面的活性化、親水化；工件的粘著性和緊密性大幅度提高；UV清洗是不會破壞表面以及不會形成腐蝕孔的無損傷清洗方式。

1

切斷

切斷有機物分子：172nm光子能量切斷有機物分子的結合(表面改質?硬化)

CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

2

吸收與分解

被氧吸收和分解：172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

3

結合

氧化分解為親水基：被切斷了化學結合的原子和活性氧結合，氧化分解、揮發后，生成親水基 CO2, H2O, OH-

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