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產品詳情
  • 產品名稱:OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300

  • 產品型號:SF-3/1300
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
  • 產品價格:0
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簡單介紹:
 SF-3/1300 OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計 用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300
詳情介紹:
SF-3/1300

   OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計

用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。

特長

非接觸、非破壞可進行厚度測量

反射光學系統(可以通過一方的接觸來測量)

高速性(*快5ks)且可實時評價

實現高的穩定性(重復精度0.01%)

粗枝大葉

可以對應任何距離

對應多層結構(*大5層)

內置NG數據的功能

可以測量距離(形狀)(組入傳感器的附屬選項)*

*根據測量范圍內的光學距離測量


 

Point1:獨自の技術で

幅広い範囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を実現。
大塚電子獨自の技術をコンパクトボディに詰め込みました。

 

Point2:高速対応

移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、
工場の生産ラインにも*適です。

 

Point3:さまざまな表面狀態のサンプルに対応

約φ20μmという微小スポットにより、
さまざまな表面狀態のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。

 

Point4:さまざまな環境に対応

*大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

 

測定項目
  • 厚み測定(5層)

 

用途
  • 各種の厚膜部材厚み

 

仕様

SF-3仕様

*1 : 測定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。 
*2 : 製品出荷基準の保証値スペックとなり、當初基準サンプルAirGap約300μmと
         約1000μm測定時の相対標準偏差( n = 20 ) 
*3 : WD50mmプローブ仕様時の設計値
*4 : 特別仕様 
*5 : 薄膜測定時に使用 
※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300 


基本構成

測定例
     サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ 
サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ
 

マッピング結果 研削後300mmウェーハシリコン厚み

マッピング結果
研削後300mmウェーハシリコン厚み

 


OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300

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