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產品詳情
簡單介紹：
MITAKA三鷹光器 3D面輪廓粗糙度測定PF-60可實現50倍折射率測量速度的掃描自動AF功能和高精度自動XY載物臺，以亞微米級測量精度實現數十毫米寬范圍的高速測量。
它非常適合測量橫截面曲線無法檢測到的精密加工零件的翹曲、成型品中的形狀缺陷以及摩擦學中磨損和劃痕的定量評估。
詳情介紹：
國內總代MITAKA三鷹光器 3D面輪廓粗糙度測定PF-60
測量概述
PF-60由用于Z軸高度測量的自動對焦（AF）顯微鏡和用于掃描的高精度XY載物臺組成。
高度方向上的位置由AF顯微鏡測量，并通過在XY載物臺上移動工件來捕獲XYZ坐標以測量形狀。
高度方向上的位置由AF顯微鏡測量，并通過在XY載物臺上移動工件來捕獲XYZ坐標以測量形狀。
掃描XY載物臺
由于充分利用高精度XY載物臺讀取坐標軸，因此可以在可移動范圍（60 mm x 60 mm）內進行連續測量。 由于沒有視場范圍等測量精度，因此無需將測量數據拼接在一起，并且可以進行大范圍的高精度測量。
點焦點表達式
用于高度測量的AF顯微鏡中包含的激光束通過上圖所示紅線的光路中的物鏡，并以半徑為0.5μm的激光探頭的形式在測量工件的表面上形成圖像。
激光探頭在工件表面上的反射光再次穿過物鏡并在AF傳感器上形成圖像，但是當激光探頭從焦點位置移動時，AF傳感器上的光斑位置也會發生變化。 自動對焦傳感器實時檢測光斑的位置位移，并通過操作自動對焦軸機構定位自動對焦顯微鏡，使光斑始終位于傳感器的中心。
激光探頭在工件表面上的反射光再次穿過物鏡并在AF傳感器上形成圖像，但是當激光探頭從焦點位置移動時，AF傳感器上的光斑位置也會發生變化。 自動對焦傳感器實時檢測光斑的位置位移，并通過操作自動對焦軸機構定位自動對焦顯微鏡，使光斑始終位于傳感器的中心。
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