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產品名稱：江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計
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產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計 OPTM（Optim）是一種利用顯微分光在微區域進行**反射率測量，可實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的裝置。涂層膜的厚度和多層膜（如各種薄膜、晶圓和光學材料）可以無損或非接觸式測量。測量時間可以高速測量 1 秒/點。此外，它配備了一個軟件，即使是初學者可以很容易地分析光學常數。

詳情介紹：

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特點

將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
使用顯微分光進行高精度**反射率測量（多層厚度、光學常數）
1 點 1 秒以內的高速測量
光學系統，在顯微條件下實現寬測量波長范圍（紫外至近紅外）
帶區域傳感器的**機制
易于分析的向導，即使是初學者也能進行光學常數分析
具有可自定義測量序列的宏功能
可分析復雜的光學常數（多點分析）
支持 300mm 級
支持各種定制

可根據樣品的形狀和部位輕松定制測量序列

規格

手勢

類型	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長范圍	230～800 nm	360～1100 nm	900～1600 nm
薄膜厚度范圍^*1	1 nm～35 μm	7 nm～49 μm	16 nm～92 μm
樣本大小^*2	高達 200×200×17 mm
點直徑	φ5、φ10、φ20、φ40

* 以上規格與自動XY級。

*1 薄膜厚度范圍為 SiO₂轉換。

*2 關于300毫米級，請聯系我們。

類型	自動 XY 級類型	固定框架類型	嵌入式頭型
尺寸（W×D×H）	556×566×618 mm	368×468×491 mm	210×441×474 mm 90×250×190 mm^*
重量	66 kg	38 kg	23 kg 4 kg^*
*大功耗	AC100V±10V 500VA	AC100V±10V 400VA

*交流/直流電源單元

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產品名稱：江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

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